Ȳö¼º ¼¿ï´ë Àç·á°øÇкΠ±³¼ö ¹Ì¡¤Áß¡¤ÀÏ ¸Þ¸ð¸® °³¹ß Àη ´Ã¸®´Âµ¥ ¿ì¸° ÁÙ°í ÀÖ¾î °æÀï·Â À¯Áö ¾î·Á¿ö ¡°¾ÆÁ÷ Çѱ¹Àº ¸Þ¸ð¸®¿¡ ´õ Àü³äÇØ¾ß ÇÑ´Ù.¡± ±¹³» ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ÇÐÀÚÀΠȲö¼º(»çÁø) ¼¿ï´ë Àç·á°øÇкΠ±³¼ö´Â À̹ø ÀϺ» µµ¹ß·Î ½ÃÀÛµÈ ¹ÝµµÃ¼ÀüÀïÀº ¡®Á» ´õ Àü·«Àû °üÁ¡À¸·Î ½É°¢ÇÏ°Ô ¹Ù¶óºÁ¾ß ÇÏ´Â ±¹¸é¡¯À̶ó°í Çß´Ù. ÀΰøÁö´É µî »ê¾÷ÀÌ °íµµÈµÉ¼ö·Ï °á±¹ ¸Þ¸ð¸®¸¦ Àå¾ÇÇÑ ÂÊÀÌ À̱â´Â °ÔÀÓÀÌ µÉ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø±â ¶§¹®À̾Ù. Áö±Ý ¹Ì±¹ÀÌ Áß±¹¿¡ D·¥ ±â¼úÀÌ ³Ñ¾î°¡´Â °ÍÀ» °¡Àå ½Å°æ ¾²´Â °Íµµ ÀÌ ¶§¹®À̶ó°í Çß´Ù. ±×´Â ºñ¸Þ¸ð¸® µå¶óÀ̺긦 °É°í ÀÖ´Â Á¤ºÎ¿Í »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ´ëÇؼµµ ¡°´Ù½Ã »ý°¢ÇØ¾ß ÇÑ´Ù¡±°í Àß¶ó ¸»Çß´Ù.
Q : ºñ¸Þ¸ð¸® ½ÃÀåÀÌ ´õ Å©´Ù. ÀÌ ½ÃÀå °³Ã´µµ ¿ì¸®¿¡°Õ Áß¿äÇÑ ¹®Á¦´Ù.
A : ¡°¹°·Ð ±×·¸´Ù. ±×·¯³ª ¿ì¸®ÀÇ Á¦ÇÑµÈ ¹ÝµµÃ¼ ÀηÂÀ» ¾î¶»°Ô ¾È¹èÇÏ´Â °Ô ÃÖÀûÀÎÁö µûÁ®¾ß ÇÑ´Ù. ¿äÁò ¹Ì±¹¡¤ÀϺ»¡¤Áß±¹Àº ¸Þ¸ð¸® °³¹ßÀηÂÀ» ȮȮ ´Ã¸®°í ÀÖ´Ù. ±×·±µ¥ ¿ì¸®´Â ±âº»ÀûÀ¸·Î Àα¸µµ Àû°í, ½Å±Ô ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸ÀÚÀÇ ±Ô¸ð´Â 2000³â´ë ÀÌÈÄ ²ÙÁØÈ÷ ÁÙ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·± Àη±¸Á¶·Î´Â ¸Þ¸ð¸® °æÀï·ÂÀ» °è¼Ó À¯ÁöÇÏ´Â °Íµµ ½±Áö ¾ÊÀº ¼öÁØÀÌ´Ù.¡±
Q : ¹ÝµµÃ¼°¡ ºñÀα⠿¬±¸Á¾¸ñÀ̶ó´Â ¾ê±ä µé¾ú´Ù. ¿Ö ±×·¸°Ô µÆ³ª.
A : ¡°Á¤Ã¥´ç±¹ÀÌ ´ëÇÐÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¸¦ Áö¿øÇÏÁö ¾Ê¾Æ¼´Ù. ¿ø·¡ ¹Ì±¹µµ ¹ÝµµÃ¼ Á¤Ã¥Àº Á¤ºÎ°¡ ´ëÇבּ¸¼Ò µîÀ» Áö¿øÇØ ÁÁÀº ±â¼úÀÌ ³ª¿À¸é ±â¾÷°ú ¿¬°áÇØ ±â¾÷¿¡¼ ¹ßÀü½ÃÅ°´Â ¹æ½ÄÀ» ÃëÇÑ´Ù. ±×·±µ¥ ¿ì¸° ¾ç´ë ±â¾÷¿¡ ¶°³Ñ°å°í, ´ë±â¾÷Àº ´ëÇבּ¸³ª Áß¼Ò±â¾÷¿¡ °ü½ÉÀÌ ¾ø¾ú´Ù. ±×·¯´Ùº¸´Ï ÀηÂÀÌ ÀÌÅ»ÇÏ°Ô µÆ´Ù. ¼¿ï´ë ¹ÝµµÃ¼ °ü·ÃÇаú 100¿© ¸íÀÇ ±³¼ö Áß ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÀº 4¸í, ¼³°è°¡ 5¸íÀÌ´Ù.¡±
Q : ¿äÁò ¹ÝµµÃ¼ À§±âµµ ¼ÒÀ硤Àåºñ ¾ê±â¸¦ ÁÖ·Î ÇÏÁö ¸Þ¸ð¸® ¾ê±â¸¦ ÇÏ´Â »ç¶÷Àº º°·Î ¾ø´Ù.
A : ¡°ÀϺ»ÀÌ ¼öÃâ±ÔÁ¦ÇÑ Á¾¸ñÀÇ Àǹ̸¦ À¯½ÉÈ÷ ºÁ¾ß ÇÑ´Ù. EUV´Â ¿ì¸® Â÷¼¼´ë D·¥ ÀÏÁ¤À» ±³¶õÇÏ·Á´Â Àǵµ°¡ ´ÙºÐÈ÷ ÀÖ´Ù. Áö±Ý ¼¼°è´Â Çѱ¹ÀÇ D·¥ Áö¹è·ÂÀ» ¾àÈÇÏ·Á´Â ÂÊÀ¸·Î ¿òÁ÷À̴µ¥ Á¤ºÎ¿Í ¾÷°è°¡ ÀÌ¿¡ Àå´ÜÀ» ¸ÂÃçÁ༱ ¾È µÈ´Ù.¡±
Ȳ ±³¼ö´Â Áö±Ý ¹ÝµµÃ¼ ¹®Á¦´Â ¡®¹ÝÀÏ°¨Á¤¡¯ °°Àº °É·Î´Â ±Øº¹ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù°í Çß´Ù. ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ µ¿ÇâÀ» ÅëÀ¸·Î ³õ°í Àü·«À» ´Ù½Ã ¼¼¿ö¾ß ÇÑ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.